اجزای خلاء واحدهای عملکردی اساسی هستند که سیستم خلاء را تشکیل می دهند. آنها مسئول دستیابی و حفظ یک محیط کم فشار خاص در یک فضای بسته و پشتیبانی از فرآیند مرتبط هستند. ارزش اصلی آن در ایجاد و کنترل شرایط فیزیکی خاص است که با فشار عادی متفاوت است.
چنین دستگاه هایی به طور کلی باید با الزامات سختگیرانه محیط های با چگالی گاز بسیار کم کنار بیایند. فرآیندهای طراحی و ساخت آنها نیاز به پردازش فرآیند خاصی دارد تا انتشار گاز خود ماده را به حداقل برساند و از یکپارچگی ساختاری و قابلیت اطمینان آب بندی در مقیاس میکروسکوپی اطمینان حاصل کند. این توابع شامل استخراج گاز، کنترل جریان، جداسازی و جداسازی، درک حالت فشار و هدایت جهتی انرژی یا مواد خاص در خلاء است.
هم افزایی بین آنها سیستم را قادر می سازد تا سطوح مختلف شرایط کاری از خلاء خشن تا خلاء فوق العاده بالا را به دست آورد و به طور پایدار حفظ کند و پشتیبانی لازم را برای عملیات بعدی در یک محیط خلاء فراهم کند. عملکرد آن به طور مستقیم خلوص، پایداری و قابلیت کنترل شرایط داخلی محفظه خلاء را تعیین می کند، که به نوبه خود بر دقت و تکرارپذیری فرآیندهای مختلف فیزیکی یا شیمیایی که به این محیط بستگی دارند، تأثیر می گذارد.
انتخاب و پیکربندی اجزای خلاء ملاحظات اساسی برای ساخت راه حل های خلاء کارآمد و قابل اعتماد است و به طور گسترده در زمینه های صنعتی و تحقیقات علمی با کنترل دقیق محیط های گازی استفاده می شود.